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正文摘录:

栏目编辑又蕴蕴动阀，利用受握面积差中爽流体驱动阀被挤压至阀膜上形成关I刊状，值得一提的是两静电驱动阀部是设置任施加液态瓦斯就会关闭的位置上，而H_阀径只有20um(驱动电压为30V)，这意味着MEMs技术J}常适合制作流体驱动阀。图7(b)的微型阀呈开启状，左侧是静电驱动阀呈戈f剞状，右侧静电驱动阀·旦开启，连接干微型喷射器的中央流体驱动阀下侧就会开放大气，接着利用李气_{j央流体驱动阀朝下l方挤K变成开启状。由十支撑眩1例的隔膜(DIaPhr。gm)被加l：成可以大幅变位的皱折状(corr“gation)，所以可以达成“开启状态时低压力损失”预期口标，压力损失10cc／min时只有17kPa，关闭状态时压力差即使160kPa也未榆测出剿意的Leak。微魁燃料电池的发展动向2000年初美、R等国外研究单位相续采用MEMs技术丁F发微型燃料电池，其中以Kelly氏发表的硅隔板(s.1iconSePanatot)微型燃料电池(图8)结构最单纯，接着其它研究单f以也陆续推出同类型燃料电池，这骂电池的cel】心脏部位亦即“阳极触媒”、“离子传导薄膜”、“阴极触媒”，都是沿用传统PEFC的薄膜电极组合(MEA，MembraneElectrod’eAssembly)，所谓MEA是利用热睚缩(H0tPress)技术将触媒薄膜粘贴在PEM两面。传统PEFc以隔板将MEA挟持锁定，结构上必需组合复数组件，因此不适合利用MEMs技术制作，因此M0rse氏在硅基板上依序制作阳极、PEM、阴极薄膜，进而构成网8(b)所乐微掣燃料电池，阳极与阴极薄膜利用溅镀法制作，PEM薄膜m0利用旋转涂布法(spincoath培)制『乍，因此可以获得一体化(Monolitmc)结构，凌微型燃料电池以氯作为燃料，90℃时叮以达成38mw／cm。的输出密度。由f燃料电池单电池电压通常只有O4—0.8V左彳i，因此复数电池小联连接成为提高电压常用手段。如图9所示主要电池连接方法有17q种，图9(a)是一般燃料电池采崩的连接方式，这种连接方式又称为“双极储备(BipoIarSt。cki“g)”。幽9(b)～(d)的连接方式在基板上制作微细结构，一般认为这种方式比较适合使用MEMS加工制作。pot【Ight关注焦点炭棠触撵电极隔扳F’EM隔扳如)《MF¨目ⅨPⅢl归＆(b)l铡8微Eq燃烧I也池山部结构幽9(c)复数电池串联连接构成的燃料电池，虽然这种方式必需将燃料传送到电池两侧，1：过从电池·端到对I句删相异基板之间却不需要导线连接，若与罔9(b)连接方式比较，它的组装与布线等作业相对比较容易，因此Lee氏的微型燃料电池也采用这种称为“FlipF10PInterconrLection”串联连接方式。图9(d)是将复数电池串联连接成·体状的另一种连接方式，由于试作时与PEM触媒电极的密着性4i足，所以只能获得1uw／cm。等级的输出密度，可；过M0yers；与M0ynam’氏针对阴极lj阳极埘向结构进行理论计算，根据计算结果显示种方式必可以获得40％左右的体积输出密度，Motokawa氏根据卜述结构试作微型DMFc，使用添加硫酸的甲醇水溶液时.可以获得078mw／cnl。的输出密度。除此之外研究人员应用溅镀技术在Poroussilicon表面制作触媒电极，DArrig0与Hayase氏则以电解电镀法取79昌书，wwweepwcomcn20081·誊孑矗品时屡I-l曩