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  • 《电子产品世界》2008年第1期摘录:制程工艺技术发展探讨

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正文摘录:

料创新是必由之路己达共识。近期英特尔公司茸先在45纳米工艺中采用高k及金属栅丁.艺的成功,尤如为通向32及22纳米工艺架起一庸桥梁,具有里程碑的意义。归纳起来,如果人家还坚信每两年工艺制程会跨上一个台阶,那半导体工业于09年时32纳米,及2011年时22纳米,再往下可能己很难准确预言。未来将面临高k材料及金属栅及光剁技术的两方面挑战。未来全球半导体业将形成微处理器,存储器及代工加fabless三足鼎立局面。尤其是存储器的超级火厂(月产12英寸硅片达15万片,投资达50亿美元以制程工艺技术发展探讨BM公,dIBM联盟开发出可在32纳米芯片中加速实现一种被称为“high—k/metalgate(高电介质金属栅极)”的突破性材料。这种新方法是基于破称为“high—kg。te—first(高电介质先加I:栅极)”加工工艺的方法,为客户转向高电介质金属栅极技术提供了一种更加简草和更省时间的途径,由此而能够带来的益处包括性能的提高和功耗的降低。通过使用高电介质金属栅极,IBM与联盟合作伙伴成功地开发出比上一代技术体积小50%的芯学生电子设计论文大赛详情请登陆网站:耄寻虚品t容2008.1wwweepw.c。mcn上)会盛行。下一步Pc及手机仍是半导体业中两个最大的消费市场。据预测,垒球低价Pc在术来5年中可能有10亿台的增量;手机在新j≮市场的中国、印度、俄罗斯及巴两也有每年超过两位数以上的增长。未来无线及节能产品将成为两火热点,接下来有可能是涉及人健康的巨大的医疗电子产品市场。可以相信,电子产品中半导体的含鼍会越来越来越高。因而,放在I:业界面前的任务,继续扩大半导体的应用范围。让新产品的性价比,为消费者吸引而产生购买欲望。一片,同时提高r众多性能。使用这种新技术的芯片将可以支持多种应用——从用于无线和消费设备的低功耗计算机微芯片到用于游戏和企业计算的高性能微处理器,预计2009年下半年采用。高电介质金属栅极芯片的总功耗可降低大约45%,对于微处理器应用来说,这一创新还可以将性能提升多达30%。IBM联盟使用“高电介质先加工栅极”方法开发出了低功耗的网捷网络complementary金属氧化物半导体(CMos)技术,并在面积小下0.15平方纳米的单元中第一次展示了使用这种低功耗技术的32纳米超高密集静态随机访问存储器(SRAM)。另外,联盟已经在新一代高性能32.纳米绝缘硅(soI)技术中使用_r高电介质创新。与L·代soT相比,高电介材料的独特属性可将晶体管的速度提高30%以l:。采用新技~SRAM可在更低的电压下丁作,减少了微处理器应片j功耗。soI的使用带来了显著的性能和功耗优势,在与高电介质金属栅极领域取得的进步相结合之后,将可以在技术上为各种应用提供高能效的芯片,比如各种游戏、个人计算机和{,9-~t十算系统。一

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