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正文摘录:

第32卷第11期2005年11月应用科技AppliedScienceandTechnologyVol_32.№.11NOV.2005文章编号：1009—671X(2005)11—0021—04蓝宝石晶片质量检测体系研究周海’，姚绍峰。(1.盐城工学院机械工程学院，江苏盐城224003；2.兴化祥盛光电子材料公司，江苏兴化225716)摘要：阐述了蓝宝石晶片质量检测的重要性.根据蓝宝石晶片国家标准和国际质量保证体系，结合目前蓝宝石晶片生产和科研的实际情况，提出了蓝宝石晶片质量检测体系，包括蓝宝石晶片质量检测内容、检测方法和检测设备.通过试验研究，该质量检测体系能够满足光电子领域所需的蓝宝石晶片生产要求.关键词：蓝宝石晶片；质量检测；检测方法；质量控制中图分类号：THl61文献标识码：AStudyofthesystemofqualityinspectionforsapphirewaferZHOUHai’，YAOShao—feng。(1.DepartmentofMechanicalEngineering，YanchengInstituteofTechnology，Yancheng224003，China；2.XinghuaXiangshengOpto—electronicMaterialCo.，Ltd，Xinghua225761，China)Abstract：Thesignificanceofqualityinspectionforsapphirewaferispresented.Thesystemofqualityinspectionforsapphirewaferisbroughtforward.accordingtointernationalandChinesestandardsofsapphirewafer.Thecon—tent，methodandequipmentofqualityinspectionforsapphirewaIlermaterial，shape，surfaceandcleaningaredis—cussed.Thissystemofqualityinspectioncanmeettheneedofmanufactureofsapphirewaferbyexperiment.Keywords：sapphirewafer；qualityinspection；methodofinspecting；qualitycontrol蓝宝石(Ot—A1：O，)晶片的质量，对后续在其上生长MgB，超导薄膜…、第三代半导体材料GaN薄膜心0以及制备蓝光二极管的性能和成品率有很大的影响p0，因此，作为基础的蓝宝石衬底晶片的质量必须首先得到保证.为了生产高品质的蓝宝石晶片，以满足日益严格的质量要求，除了要改进蓝宝石晶片制备技术外，蓝宝石晶片质量的检测技术也是非常重要的一个环节M0.研究蓝宝石晶片的质量检测体系，不仅可以通过质量检测来筛选合格的蓝宝石晶片，更重要的是通过检测发现蓝宝石晶片制备工艺技术的不足，推动蓝宝石晶片加工技术的发展和提升蓝宝石晶片的质量怕J.虽然目前关于第一代半导体材料一硅单晶的质量检测方面的文献较多，有的已经成为标准规范，但是针对用着第3代半导体材料GaN衬底片的蓝宝石晶片质量检测方面的文献资料却很少帕。。鉴于此，本文主要针对蓝宝石晶片的质量要求、质量检测方法、质量检测技术发展趋势等方面问题进行了深入研究.结合工程实际系统地提出了针对蓝宝石晶片的材料内在品质、几何尺寸精度、表面缺陷、洁净度等几个方面的检测内容、检测方法和检测设备.1蓝宝石晶片质量要求为了确保能够在蓝宝石晶片生长出合格的GaN薄膜，首先要分析GaN生长对蓝宝石衬底晶片的质量要求.作为衬底的蓝宝石晶片形状如图1所示.目前关于蓝宝石衬底晶片的标准共有6个，它们是：国际SEMI标准中的5个标准(SEMIM3—1296蓝宝石单晶抛光衬底规范；SEMIM3.2—912INCH蓝宝石衬底标准；收稿日期：2005—05—26.基金项目：江苏省教育厅自然科学研究指导计划资助项目(04KJIM30213)；国家863计划资助项目(2002AA311010)作者简介：周海(1965一)，男，副教授，主要研究方向：超精密加工.